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材料测量选件提供温度特征分析功能（选件 007），并能够直接得到介电常数和导磁率的读数（选件 002）。
探头台连接套件（选件 010）可在高达 3 GHz 的频率范围内提供精确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案。
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